《基于倾斜AlN薄膜的体声波质量传感器的制备及性能分析》PDF+DOC
作者:熊娟,顾豪爽,吴雯,杜鹏飞,胡明哲
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2009年第08期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2009080100
DOC编号:DOCCGJS2009080109
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高速动车组轴温测量用特种结构薄膜传感器的研制》PDF+DOC2018年第01期 崔云先,胡晓勇,薛帅毅,刘义,牟瑜
《超磁致伸缩薄膜/光纤的制备及其磁探测性能》PDF+DOC2004年第10期 刘吉延,斯永敏,刘阳,李智忠,胡永明
《新型SnO_2/WO_3双层薄膜NO_2敏感性能研究》PDF+DOC2010年第05期 林伟,黄世震,陈文哲
《基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器》PDF+DOC2008年第02期 马绍宇,韩雁,董树荣,李侃,周海峰
《NiCr/NiSi薄膜热电偶传感器的研制及有限元模拟》PDF+DOC2008年第09期 朱亚民,张军,崔云先,孙奉道
《直流反应磁控溅射法制备WO_3薄膜及其氢敏特性研究》PDF+DOC2008年第03期 胡明,冯有才,尹英哲,陈鹏
《基于MEMS的力传感器薄膜应变计加工工艺》PDF+DOC2006年第01期 王嘉力,高晓辉,姜力,刘宏
《磁控溅射法制备NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器》PDF+DOC2006年第02期 贾颖,孙宝元,曾其勇,徐静
《谐振面积与电极图案对质量传感器性能的影响》PDF+DOC2014年第02期 郑丹
《中频磁控溅射制备锰铜传感器用合金薄膜的工艺》PDF+DOC2014年第03期 张延松,牟宗信,吴敏,丁昂,牟晓东,钱坤明
提出通过改变溅射气压获得倾斜于C轴的AlN薄膜的制备方法,探讨了倾斜AlN薄膜的生长机理。以3对交替沉积的Ti—Mo金属层为布拉格声学反射层,采用MEMS工艺制备了基于倾斜AlN薄膜的、以剪切模式振动的体声波液体传感器,并对器件的S11参数进行测试分析,得到传感器的中心频率为0.78GHz,表明该器件在生物液相检测领域具有一定的应用前景。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。