作者：赵建国,马炳和,邓进军 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2009年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2009070100 DOC编号：DOCBDTQ2009070109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 阐述了壁面剪应力测量原理及其需求。以Ni为热敏材料、聚酰亚胺为衬底，采用MEMS微加工工艺制作了一种用于近壁传热及流动参数分布测量的全柔性热敏传感器阵列。该传感器阵列的尺寸微小、集成度高、柔性可弯，可用于弯曲壁面剪应力大小与分布测量。针对柔性热敏传感器阵列电阻温度系数太小的问题，本文采用了合适的Ar压强和在溅射过程中衬底加温以及真空退火等办法提高了电阻温度系数，同时考虑并解决了热敏电阻与衬底间的粘附性问题。实验结果表明，在5～80℃，柔性热敏传感器阵列的电阻温度系数可高达4.64&#215；10-3/℃，并且具有良好的线性。

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