作者：侯安州,惠春,徐爱兰,张艳丽,倪鹤南 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2009年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2009070050 DOC编号：DOCCGQJ2009070059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 制作了一种新型的基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器。采用了溶胶—凝胶法在石英晶体表面制备了纳米晶PZT薄膜，形成PZT/石英结构的敏感单元。研究了纳米晶PZT在石英基体上的微观结构、表面形貌；探讨了纳米晶PZT/石英作为敏感单元在细胞检测中的作用。实验结果表明：PZT薄膜的晶粒大小为20~30 nm，沿〈101〉晶向择优生长，并且，薄膜表面平整，结构致密。纳米晶PZT/石英结构的敏感单元使生物细胞传感器的灵敏度得到了提高。

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