作者：蔡晓艳,陶涛,秦明 单位：东南大学 出版：《电子器件》2009年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ2009010510 DOC编号：DOCDZQJ2009010519 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文研究了一种利用压阻原理检测相对湿度的传感器结构。改进了压阻结构，在压阻的拐弯处用Al引线代替浓硼掺杂，避免了拐弯处压阻的负压阻效应，提高了传感器的灵敏度。采用离子注入工艺制作压阻，使得硼掺杂更加均匀，提高了压阻的匹配度。对流水出来的传感器进行测试和分析，数据结果表明：在20℃时，传感器的灵敏度为0.236 mV/%RH，最大湿滞约为5%RH，传感器有较好的线性。

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