作者：侯占民,王金文,杨金梅,崔宏敏 单位：黑龙江大学 出版：《黑龙江大学自然科学学报》2009年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHLDZ2009060270 DOC编号：DOCHLDZ2009060279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了该高温绝压传感器的原理和特点，设计了传感器关键元件弹性膜片结构，制定了一套弹性膜片的制作工艺，使弹性膜片的加工工艺、热处理工艺有机地结合起来，弹性膜片金相组织和力学性能达到理想状态，解决了该传感器精度的关键技术，研制出一体化传感器在(-50～220)℃工作温度范围精度达到0.6%F.S。

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