作者:常慧敏,周平,高理升,王英先,徐智晴,刘春艳 单位:北京信息科技大学 出版:《传感器世界》2009年第08期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGSJ2009080030 DOC编号:DOCCGSJ2009080039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍一种厚膜电容式压力传感器,它以陶瓷弹性体和盖板为电容的电极,电极材料为钯银导体,传感器包括压力敏感芯片和电容—电压转换电路,该芯片是由两块能牢固键合成一体的基板组成,基板材料为96%Al2O3陶瓷。传感器量程为0~200kPa,电容值20pF,非线性0.3%,工作温度-20~+85℃,零点温漂小于200ppm/℃。具有易于批量生产、性能/价格比高等技术优势。

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