作者：冯佳,李佩玥,徐立松,尹志生,隋永新 单位：北京方略信息科技有限公司 出版：《国外电子测量技术》2014年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGWCL2014110120 DOC编号：DOCGWCL2014110129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对交流激励式电容测量电路抗干扰能力差及测量精度受激励源稳定性影响的问题，提出了一种前级加反馈的电容测量电路设计。首先，将传感器输出电压引出，乘以合适的倍数，加到初始激励源。然后，利用模拟乘法器和低通滤波器进行检波。最后，用八位半数字表3458A采集测量结果。实验结果表明，该系统在0~650μm范围内分辨率达30nm，电路测量最大偏差为20nm，示值稳定性0.1mV/30min。该系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求。

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