《MEMS微电容式传感器的传感特性研究》PDF+DOC
作者:王庆敏,杨要恩,苏木标,刘玉红
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2009年第10期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2009100070
DOC编号:DOCCGJS2009100079
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针对传统的传感器无法进行长期健康监测的不足,研发出一套新型的基于MEMS的硅微电容式传感器。对所研制的MEMS传感器的静态传感特性和动态特性进行了理论分析和对比实验研究。结果表明:MEMS硅微电容式传感器在反复加卸载实验中,线性拟和度均在0.999%F.S以上,灵敏度系数为6.9840με/kN,其重复性误差为1.43%F.S;其动态传感特性与传统的加速度计吻合的很好。
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