作者：刘成刚 单位：济南教育学院 出版：《济南职业学院学报》2009年第04期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLXX2009040380 DOC编号：DOCJLXX2009040389 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。MEMS传感器越来越小，价格越来越低，能效越来越高，设计和应用空间不断扩大，本文探讨了它在消费类产品中的各种应用。

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