作者：孙博华,韩立锋 单位：上海大学 出版：《上海大学学报(自然科学版)》2009年第06期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSDXZ2009060120 DOC编号：DOCSDXZ2009060129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高g值加速度传感器研究》PDF+DOC1996年第02期 张亚,李科杰,马宝华 《三维压电加速度传感器的设计》PDF+DOC2003年第05期 黄朋生,任天令,楼其伟,刘建设,刘理天 《微机械技术在航天传感器技术中的运用分析》PDF+DOC2016年第04期 孙烨 《微加速度传感器硅微结构设计》PDF+DOC2000年第02期 金磊,高世桥,李文杰 《微系统技术及其应用》PDF+DOC1996年第03期 陈佳品,吴智政 《微机械传感器计算机辅助设计系统》PDF+DOC1995年第S1期 费龙,钟先信,温志渝,徐涛 《Ansys在PZT压电薄膜微传感器压电分析中的应用》PDF+DOC2005年第07期 娄利飞,杨银堂,张军琴,李跃进 《新型MEMS地震检波器的研究》PDF+DOC2010年第08期 谌贵辉,赵万明,任诚,席建中 《振动功率流测量方法的研究》PDF+DOC2007年第04期 赵东升 《PVDF触滑觉传感器结构及其调理电路设计》PDF+DOC2014年第01期 辛毅,杨庆雨,郑浩田,蒋琪

    • 基于压电薄膜的压电效应，研究压电薄膜微机电加速度传感器.对双层压电薄膜微机电加速度传感器进行静力分析，得到传感器方程，并进行数值计算.结果表明，随着压电薄膜厚度的增大，灵敏度随之增大，在一定厚度下达到最大值，随着厚度的进一步增大，灵敏度反而减小.然后进行动力分析，得到噪音、质量因子、最小可测信号等技术参数，并进行了数值计算.运用ANSYS软件进行谐响应分析，得到不同频率下结构的动力响应曲线。

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