作者：赵晋敏,李守荣,王军波,陈德勇,刘磊,史晓晶 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2009年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2009030140 DOC编号：DOCCGJS2009030149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺，提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器，并采用电磁激励实现传感器的闭环控制。实验中发现：由于采用扩散硅材料，传感器受到较为严重的同频干扰影响，因此，消除传感器的同频干扰成为需要解决的一个主要问题。通过对采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器微结构进行分析，建立了传感器主要噪声来源同频干扰的等效电路模型，据此提出一种新的不对称双端激励解决方法。实验结果表明，该方法可有效地降低传感器的同频干扰，传感器的信噪比由1.53提高至35，为传感器闭环激励和检测提供了有效的手段。

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