作者： 单位：四川省科技信息研究所 出版：《技术与市场》2009年第03期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJSYS2009030790 DOC编号：DOCJSYS2009030799 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 高性能单晶硅谐振压力传感器，采用电磁激励和电磁拾振方式工作，输出为频率信号，抗干扰能力强，稳定性好，不需A/D转换，既能测量绝压，也能测量差压，精度0.1%，其量程可根据具体应用需求通过调整制作工艺参数实现。

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