作者：李昊峰,贾锐,李维龙,陈晨,刘明 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2009年第12期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2009120060 DOC编号：DOCBDTQ2009120069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 主要从声表面波(SAW)结构和敏感膜的角度综述了SAW气体传感器的研究现状。重点分析了国外出现的换能器新型结构，对其优点进行了初步分析，并和传统的SAW气体传感器结构做了比较，指出这些新结构尽管存在一些缺点，目前还不能取代传统的通用式结构，但是在某些特殊场合具有传统结构所不具备的优点。在敏感膜方面，主要从新材料方面入手，分析了目前主要使用的敏感膜材料，并结合SAW气体传感器的发展趋势，总结出敏感膜的发展方向。同时，对SAW气体传感器的其他组成部分如衬底材料和信号处理电路也作了简单的回顾，最后结合国内外研究成果对SAW气体传感器的发展做了展望。

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