《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计》PDF+DOC
作者:张建碧
单位:西安电子科技大学
出版:《电子科技》2009年第10期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZKK2009100130
DOC编号:DOCDZKK2009100139
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《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计》PDF+DOC2009年第10期 张建碧
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随着硅微机械加工技术(MEMS)的快速发展,各种基于MEMS技术的器件应运而生。文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明实验与理论设计值相符。
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