作者：王健,揣荣岩,何晓宇,刘伟,张大为 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009090040 DOC编号：DOCYBJS2009090049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用，文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构，并采用有限元分析方法对弹性膜片尺寸以及应变电阻分布进行了优化。依据优化设计结果试制了压力传感器芯片。实验表明该传感器工艺简单、高温特性好、灵敏度高。

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