《MEMS技术的智能化硅压阻汽车压力传感器》PDF+DOC
作者:毛超民,王政平,王冰,任峰
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2009年第S1期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2009S10590
DOC编号:DOCYBJS2009S10599
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文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器。通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行温度校准实现了宽温度工作范围内的高精度测量,并且适合于批量制造。
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