作者:王凤伟,张辉,邓善熙,唐海勇,曾汉平 单位:中国仪器仪表学会 出版:《仪器仪表学报》2009年第02期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQXB2009020370 DOC编号:DOCYQXB2009020379 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《差压式气针传感器的误差研究》PDF+DOC2009年第13期 王凤伟,张辉,邓善熙,曾汉平 《高精度气动传感器的研究》PDF+DOC2009年第07期 王凤伟,张辉,邓善熙,牛学虎 《高分辨力智能型气动测微仪》PDF+DOC2013年第09期 崔廷,沈小燕,林杰俊,李东升 《用于尺寸测量的气针式传感器初探》PDF+DOC1999年第05期 赵前程,邓善熙,张辉,梁发云 《高精度球面的气动测量》PDF+DOC1998年第07期 邓善熙,赵前程 《尺寸测量气电式传感器的研究》PDF+DOC1996年第01期 孙军,邓善熙 《基于虚拟仪器技术的气针式传感器研制》PDF+DOC2011年第05期 冯艳 《基于PLC控制的气动模拟测量系统的研究设计》PDF+DOC2010年第02期 彭秀英,陈亚,胡园 《一种新型大量程非接触尺寸测量装置的研究》PDF+DOC2001年第02期 吕国强 《气动测量传感器误差研究》PDF+DOC1997年第04期 胡生清,胡毅
  • 提出一种基于差压式气路的微纳米级分辨力气针传感器的设计和工作原理,并对其静态特性进行了理论分析和实验研究。分析出不同输入压力、不同主喷嘴和测量喷嘴孔径对传感器灵敏度和线性范围的影响大小,从而可获得高灵敏度和大线性范围气针传感器的各参数值。该传感器的测量范围为80μm,分辨力为0.01μm,测量不确定度小于0.3μm,适合于高精度微纳米级非接触尺寸测量场合。本文研究内容可以为高精度气动传感器的设计提供理论和实验依据。

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