《MEMS机油压力传感器设计》PDF+DOC

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1. 《MEMS机油压力传感器可靠性研究》PDF+DOC 研究了封装工艺对传感器可靠性的影响。分析和实验结果表明，机油压力传感器封装材料及各个工艺步骤都会影响传感器的性能和可靠性。贴片胶性能不能满足可靠性要求，会引起传感器信号漂移和高温不稳定性；引线键合强度不够，在工作中会断裂；硅油化学稳定和耐温性能不够好，会造成传感器高温输出信号不稳定，硅油中的空气和杂......
2. 《陶瓷压阻式机油压力传感器研制》PDF+DOC 针对传统滑线式机油压力传感器不足，设计制作了一种陶瓷压阻式机油压力传感器。利用自搭建的温度压力测试系统对其进行了标定与测试，实验结果显示：其综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.925%F.S.，完全符合压力传感器通用技术条件规定的综合误差≤2%F.S.的要求，并通过了2~3倍量程的过载、爆破......
3. 《MEMS传感器的发展及其在煤矿井下的应用研究》PDF+DOC 介绍了微机电系统(MEMS)传感器的发展现状，分析了典型的商用MEMS传感器，针对煤矿井下传感器应用特点，重点阐述并研究了基于MEMS技术的压力、气体传感器在煤矿井下应用的技术性能优势和可行性。最后，对煤矿井下的MEMS传感器的应用趋势进行了展望。...
4. 《车用MEMS传感器原理与发展》PDF+DOC 汽车的ecu就相当于人的大脑，汽车里面的通讯就是人的神经，而传感器就相当于人的五官，它需要对压力，加速度，角速度，排出气体浓度等外界各种动态进行及时的检测。而最新MEMS(微机电系统)传感器无疑是传感器发展的新的趋势。本文简述了倾角传感器的原理和发展状况并对几种汽车用MEMS传感器做了介绍和比较，并......
5. 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC 对微机电系统技术的现状及其发展进行了介绍，并探讨了微机电系统技术在引信中的应用...
6. 《MEMS传感器技术在汽车上的应用研究与展望》PDF+DOC 为了满足汽车电子化、智能化的需要，越来越多的MEMS(微机电系统)传感器应用到汽车上。本文对主要的几种汽车MEMS传感器的应用状况和研究现状进行简述，并且对压力传感器和微加速度计的设计缺陷进行研究。同时，结合MEMS传感器的特点和车载传感器的要求，对汽车MEMS传感器的发展提出几点建议和展望。...
7. 《胶粘剂对MEMS压力传感器点焊压力测量的影响》PDF+DOC 针对点焊过程压力监测的MEMS压力传感器的粘贴问题，采用不同种类的胶粘剂粘贴MEMS压力传感器，在自制的压力测试平台上模拟点焊电极压力对传感器进行了加压测试。测试结果表明：采用α—氰基丙烯酸酯系胶粘剂粘贴的MEMS压力传感器输出结果优于环氧树脂系胶粘剂和酚醛树脂系胶粘剂粘贴的传感器的输出结果。造成不......
8. 《MEMS耐高温压力传感器封装工艺研究》PDF+DOC 为解决特种压力传感器结构的封装难题，提出了三种能够适用于200℃高温条件下的先进封装技术。通过有限元模拟，确定了采用低温玻璃键合技术对多种压力传感器进行封装，分析得出了适合的中间键合层厚度。选定了高强度低膨胀基底合金材料，制定了低温玻璃键合的工艺流程，采用先进的丝网印刷工艺确保中间键合层厚度。实验表......
9. 《基于强度解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器》PDF+DOC 运用微机械系统加工技术制作了一种新型法布里-珀罗干涉型光纤微机电系统压力传感器，该传感器通过测量反射光谱的移动测量压力.运用多腔干涉原理对该传感器进行理论以及模拟分析得出，通过改变压力传感器的尺寸可较容易的调节压力线性测量范围和灵敏度.实验结果表明，在压力线性测量范围[0.1~1.0]MPa内，灵敏......
10. 《MEMS压力传感器现状及其在弹药上的应用》PDF+DOC 随着MEMS技术、集成电路技术和材料制备与特性研究工作的进展，必将使得MEMS压力传感器的批量生产、在弹药中的大量应用成为可能。系统地分析MEMS压力传感器的特点、分类及国内外发展现状，包括研究现状、产品现状和MEMS压力传感器在弹药中的应用，对相关的科学研究具有重要意义。...