《基于共振隧穿的位移传感器设计》PDF+DOC
作者:张庆伟,温廷敦
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2009年第02期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2009020240
DOC编号:DOCCGQJ2009020249
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运用了一种新效应——介观压阻效应,以A lAs/GaAs/A lAs共振隧穿双势垒(DBRT)结构薄膜作为力敏元件,设计了一种压阻式微位移传感器。通过分析、计算和模拟得到了它的输入、输出特性和灵敏度,把它与同类传感器做了比较,结果显示:DBRT结构可以提高灵敏度、调节灵敏度。为设计介观压阻式微位移传感器提供了理论依据。
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