《介观压阻型微压力传感器设计》PDF+DOC

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2. 《压阻式金刚石微压力传感器》PDF+DOC 工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高温、高灵敏度压阻型金刚石微压力传感器的原理、结构及其制造技术作了详细介绍。这种传......
3. 《介观压阻型硅微压力传感器仿真分析》PDF+DOC 为了突破传统机电转换局限，提高压力传感器灵敏度，提出以介观压阻效应[1]为工作原理制作高灵敏度的硅微压力传感器，设计了一种圆形的平膜片结构，建立其三维实体有限元模型，通过理论分析与仿真计算，得出该结构的尺寸对其灵敏度、固有频率、谐振频率及模态振型的影响规律，为此类压力传感器结构的优化设计提供参考。...
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5. 《SMI硅微结构超低压力传感器》PDF+DOC 压力传感器技术是传感器技术中最早建立及发展起来的领域之一，但依然不能适应当前飞速发展的现实需要。主要问题是价格昂贵、输入-输出特性非线性严重以及难以敏感微小的压力。 美国Silicon Microstructures Inc(SMI)(EXAR公司的一个全资子公司)开发了一系列低价位、线性度在0.1......
6. 《扩散硅固体压力传感器》PDF+DOC 扩散硅固体压力传感器是七十年代出现的新型仪表组件。本文介绍扩散硅压力传感器的特点及用途，传感器的设计理论和计算方法，压阻器件的设计原理，量程估计的简易公式，以及传感器的性能指标与应用结果等。该传感器经鉴定，精度达到千分之一。...
7. 《单晶硅微压传感器的研制》PDF+DOC 风洞测压及实现自动检测、自动控制，急需提供高精度、测量微压的压力传感器。本文介绍一种利用单晶硅压阻效应研制成的微压传感器。其特点是精度高、灵敏度高，适用于对不同参考压力的测量。文中简介传感器的工作原理、技术指标，着重讨论微压传感器的设计、工艺特点。...
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