作者:陈辰,韩秋实,张福学 单位:北京信息科技大学 出版:《北京信息科技大学学报(自然科学版)》2009年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBJGY2009040080 DOC编号:DOCBJGY2009040089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《气流式加速度传感器的敏感机理》PDF+DOC1998年第02期 吴建义,任宏超,张福学 《两丝球形气流式倾角传感器敏感机理的研究》PDF+DOC2016年第05期 朴林华,朴然,丁霞,段磊,常兴远 《气流式倾角传感器不同敏感丝布局分析》PDF+DOC2017年第04期 郑永红 《微机械热对流加速度传感器可靠性研究》PDF+DOC2003年第Z1期 杨拥军,吝海锋,师谦,徐爱东 《倾角传感器原理和发展》PDF+DOC2002年第08期 张维胜 《对称体微机械电容加速度传感器的结构设计》PDF+DOC1998年第02期 邹强,陆德仁,王渭源 《“气体摆”式惯性器件的机理研究》PDF+DOC1998年第02期 任宏超,吴建义,张福学 《微电子技术新领域》PDF+DOC1999年第04期 陈克金,邵凯 《用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性》PDF+DOC2003年第04期 朱德忠,张荣海,顾毓沁,郝京阳 《小尺寸2D密闭腔气体摆特性的有限元分析》PDF+DOC2009年第02期 朴林华,丁霞,宋佳,刘玉洁,李言杰
  • 针对MEMS技术和气体热对流倾角传感器技术的结合,介绍了基于气体热对流的微机械倾角传感器的国内外研究现状和发展趋势;着重分析该种传感器的原理和性能特点,特别是融合了MEMS技术和气体热对流敏感机理的优点:使传感器具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、可批量生产、优良的抗振动和抗冲击能力等特性。对基于气体热对流的微机械倾角传感器的进一步研究将有益于提高倾角传感器的性能和扩大其使用范围。

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