《微拉伸系统中微弹簧力学传感器的研究》PDF+DOC
作者:刘瑞,汪红,李雪萍,丁桂甫
单位:中国机械工程学会;郑州机械研究所
出版:《机械强度》2009年第06期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJXQD2009060110
DOC编号:DOCJXQD2009060119
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研究应用于薄膜力学微拉伸测试系统的微弹簧力传感器。在单轴薄膜微拉伸系统的基础上,通过有限元模拟分析,研究以S型弹簧为结构基础的微弹簧力传感器。根据模拟结果,利用高精度线切割和UV-LIGA(Ultraviolet Lithographie GalVanoformung Abformung)技术制备出微弹簧力传感器,并在自制装置上进行标定。标定结果表明,由负胶工艺制备的自由式微弹簧力传感器有良好的线性,而且与Ansys模拟的弹性系数结果一致,为微拉伸测试系统提供良好的条件。
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