作者：蔡春丽,刘志远,王惠玲,于海超,王洪岩 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2009年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2009060350 DOC编号：DOCCGQJ2009060359 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种新的基于恒温法的热膜式气体流量传感器，介绍了该传感器的建模过程及其敏感元件的结构设计，并给出了流量传感器的详细设计方案。仿真和实测结果表明：该流量传感器既能对小流量信号敏感又能准确地反映大流量的输出，功耗低于0.1W，响应时间小于50m s，精度可达到0.6%FS，能够满足低功耗、快响应、高精度等性能技术指标的要求。

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