作者：文常保,朱长纯,巨永锋,邱彦章,许宏科,胡小东,吴媛,刘君华 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2009年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2009020050 DOC编号：DOCYDSG2009020059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 以128&#176；YX-LiNbO3晶体上实现的双声路声表面波(SAW)器件为载体，在器件的测量声路上制作了对SO2气体具有敏感作用的碳纳米管聚苯胺薄膜，提出了一种基于碳纳米管聚苯胺薄膜的SAW SO2气体传感器。该传感器中的双声路结构消除了因外界测量条件改变引起的测量误差，提高了传感器的可靠性和准确性。利用原位法制备的碳纳米管聚苯胺增加了SO2气体的吸附面积，提高了传感器的灵敏度。实验结果表明，基于碳纳米管聚苯胺薄膜的SAW SO2气体传感器在测量范围内对各种浓度的SO2气体具有好的响应特性；当输入体积分数为1&#215；10-6时，传感器的响应灵敏度约为8.3 kHz，比单一聚苯胺薄膜高1.8 kHz。此外，该传感器也具有更好的线性特性。

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