作者：张效栋,房丰洲,程颖,徐宗伟,张少婧,魏桂爽 单位：中国航天科工集团公司第三研究院第八三五八研究所 出版：《红外与激光工程》2010年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHWYJ2010030300 DOC编号：DOCHWYJ2010030309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 菲涅耳器件是红外传感器等领域不可或缺的高性能光学元件。其高效和高精度的制造方法是目前研究的重点。文中借助单点金刚石切削技术实现菲涅耳器件加工，采用半圆头型刀具有效减小不可切削区域，并基于聚焦离子束微加工方法进行微刀具制备。对所提出方法的关键技术和制造工艺进行了详细论述。对不同应用领域的两类菲涅耳器件进行加工实验，并建立光学测试平台进行光学性能分析，实验结果表明：所提出的方法可满足菲涅耳器件的应用需求。

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