《MEMS仿生矢量水听器封装结构的隔振研究》PDF+DOC
作者:杨江涛,马喜宏,邬琦
单位:东南大学
出版:《电子器件》2015年第03期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZQJ2015030060
DOC编号:DOCDZQJ2015030069
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利用隔振原理,设计了矢量水声传感器系统中一种新型隔振封装结构模型,即加入橡胶减振器的新型封装结构。采用ANSYS软件对封装模型进行模态分析,研究模型结构和几何尺寸对其隔振性能的影响,确定最优隔振封装结构;对模型的几何尺寸及橡胶隔震材料力学参数进行优化,并对优化模型的隔振性能进行实验测试和评估。实验结果表明:所设计的新型橡胶减振结构具有一定的减振效果,隔离了一定程度的核心器件以外的外界振动干扰,提高了原有封装结构矢量水听器的探测灵敏度。再次验证了硅微MEMS仿生矢量水声传感器不但体积小、质量轻、结构简单,而且具有低频灵敏度高等优点。
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