作者：胡秀丽,游佰强,于海涛 单位：洛阳船舶材料研究所;中国造船工程学会船舶材料学术委员会 出版：《材料开发与应用》2010年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCLKY2010050270 DOC编号：DOCCLKY2010050279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对薄膜材料厚度无损测试技术，提出一种三电极平行板电容传感器薄膜测厚方法。具体采用了三电极平行板电容器结构，该电容传感器含有三个相同的几何尺寸是毫米级的平板电极探头，电极之间的间距可变。依据电容原理和保角变换方法建立理论模型。通过Fortran语言编写算法，将得出的计算结果与传统方法进行比较。结果表明用此方法检测薄膜厚度变化，不仅继承了传统电容测厚技术具有的结构简单，操作快捷，便于控制，低功耗，低成本等优点，还大大提高了薄膜厚度检测的灵敏度。

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