作者：张建碧 单位：中国电子科技集团公司第五十八研究所 出版：《电子与封装》2009年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDYFZ2009100150 DOC编号：DOCDYFZ2009100159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支，具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点，而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作，因而在近年来发展迅速。文章首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍，给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺，并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试，测试结果表明与理论设计值基本吻合。

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