《化学气相沉积金刚石膜的研究与应用进展》PDF+DOC
作者:吕反修
单位:中国机械工程学会
出版:《材料热处理学报》2010年第01期
页数:14页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJSCL2010010040
DOC编号:DOCJSCL2010010049
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化学气相沉积(CVD)金刚石膜具有极其优异的电学(电子学)、光学、热学、力学、声学和电化学性能的组合,因此在一系列高新技术领域有非常好的应用前景,并曾在20世纪80年代中期形成席卷全球的“金刚石热”。30余年来,CVD金刚石膜研究取得了极其巨大的进展,但在产业化应用方面仍不尽人意。本文对此进行了比较详尽地综述和评论,希望更多的人了解,并推进其研究和产业化进展。
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