作者:张朋,陈明,何鹏举 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》2009年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG2009030010 DOC编号:DOCYDSG2009030019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,在ST切型石英晶片上成功实现了一种新型的室温下延迟线型声表面波CO气体传感器。传感器采用双通道延迟线结构,在一条延迟线路上采用光刻技术构造出一个方形敏感区,将掺杂有In2O3的聚苯胺CO气体敏感材料覆盖在方形敏感区形成敏感膜(0.5~1.2μm)。在-40~+85℃间的CO气体中,对此气体传感器进行测试实验,实验结果显示该声表面波CO传感器具有好的敏感性、快的敏感速度和恢复速度、高的精度。

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