《EMX-SM型电子探针波谱仪的调整原理和方法》PDF+DOC
作者:陈方玉,许竹桃
单位:中国物理学会
出版:《电子显微学报》2010年第06期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZXV2010060120
DOC编号:DOCDZXV2010060129
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以EMX-SM型电子探针传动机构、分光晶体和谱仪板的调节部件为基础,建立晶体直进波长正比谱仪的失调模型,经过解析,获得反映谱仪状态的直线束方程,推导出聚焦圆正偏离和负偏离判据,得到波谱仪调整方向和具体步骤,结合实例详解谱仪实际调整过程。
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