《科学家研制出可自我校准的微机电系统》PDF+DOC

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5. 《面向地球物理应用的高精度MEMS惯性传感器》PDF+DOC 微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)惯性传感器具有体积小、质量小、成本低等优势，已经在消费电子、工业、医疗、军事、航空航天等领域得到广泛应用。随着精度的不断提高，近年来MEMS惯性传感器在地球物理领域已经开始崭露头角，但是其在该领域中的具体应用需求还......
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