作者：胡淏,董景新,万蔡辛,曹宇 单位：清华大学 出版：《清华大学学报(自然科学版)》2010年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQHXB2010110090 DOC编号：DOCQHXB2010110099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 双端音叉式硅微谐振器在制造过程中的误差会造成两根振梁谐振频率存在差异，这种差异严重降低了双端音叉式硅微谐振器的品质因数，进而造成传感器精度降低等问题。该文利用电容式传感器存在静电负刚度效应的原理，采用改变直流预载电压的电调整方法对振梁的刚度进行修调，从而精确地将两根振梁的谐振频率调整到一致。对这种方法进行了试验验证，试验结果验证了这种电修调的可行性。电修调可以有效提高双端音叉硅微谐振器的品质因数。

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