《DL-10型石英真空计的性能》PDF+DOC
作者:王逊,张云峰,唐镇松
单位:中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所
出版:《真空》2010年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZKZK2010040260
DOC编号:DOCZKZK2010040269
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本文叙述了DL-10型石英真空计的研制结果,它用Φ2×;6型音叉状石英晶振作为压强传感器。该真空计测量范围是10~105 Pa,误差约10%。石英真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的性能做的真空计。DL-10型石英真空计的振荡电路中的晶振同时也是压强传感器。
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