作者：冯庆 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》2010年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX2010040100 DOC编号：DOCZKKX2010040109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《Pt-WO_3薄膜气敏传感器的气敏性能研究》PDF+DOC2008年第06期 李昌青,胡明,尹英哲,马晋毅,冯有才,陈鹏 《Dy~(3+)和La~(3+)掺杂ZnO薄膜的特点及其气敏传感特性》PDF+DOC2013年第02期 陈雪,王纯子,黄凯,康俊勇 《关于石墨烯与金属氧化物复合材料应用于气敏材料的研究》PDF+DOC2016年第10期 冯秋霞,王兢,李晓干 《微结构气敏传感器敏感薄膜制备方法的研究》PDF+DOC2000年第03期 李建平,王悦,高晓光,王利,韩泾鸿 《WO_3基H_2S气体传感器的研究》PDF+DOC1999年第01期 吴正元,陈涛,丘思畴,吴正华 《汽相沉积法SnO_2薄膜光谱透过率气敏特性的研究》PDF+DOC1998年第04期 冯金垣,越泽庭,黎达宇,杨日福 《γ-Fe_2O_3烧结感应体的气敏特性》PDF+DOC1988年第02期 彭军,朱兆宗,张鹤呜,来新泉,王彦新,杨刚亮 《V_2O_5薄膜在传感器上的研究进展》PDF+DOC2005年第10期 李莉,童茂松,翁爱华 《碳纳米管气敏传感器微电极的制备与检测》PDF+DOC2014年第01期 冉祥涛,王成响,王志 《羟基修饰单壁碳纳米管对SF_6局部放电分解组分气敏特性的研究》PDF+DOC2013年第05期 张晓星,孟凡生,李锐海,廖一帆,杨冰

    • 运用超声雾化热分解法制备了纯TiO2薄膜，并通过超声雾化分解和电子束蒸发两种方法注入了Ru，Rh，Ir杂质，研究了各种薄膜对O2的传感特性，并利用透射电镱和原子力显微镜分析薄膜晶体的微观结构。实验发现，纯TiO2薄膜在高工作温度(400℃)下对O2的传感性也较弱，而通过超声雾化分解法制备的掺杂TiO2薄膜工作温度明显降低到300℃，传感灵敏度极大提高，响应时间缩短，并且超声雾化分解法制备比电子束蒸发注入的传感薄膜具有更好的气敏传感特性。

    📙 相关资料

    1. 《Pt-WO_3薄膜气敏传感器的气敏性能研究》PDF+DOC 用直流反应磁控溅射法制备了Pt-WO3气敏薄膜，进行了薄膜晶体结构和表面形貌的分析，研究了添加Pt对WO3电学和气敏特性的影响。实验证明：当Pt膜厚为4 nm时，WO3薄膜对气体的敏感特性得到改善，对φ(NO2)=5&#215；10-6和φ(NH3)=10&#215；10-6的工作温......
    2. 《Dy~(3+)和La~(3+)掺杂ZnO薄膜的特点及其气敏传感特性》PDF+DOC 采用真空蒸发的方法制备了掺杂原子比为3%、5%和9%的La掺杂和Dy掺杂的ZnO薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)谱和X射线光电子能谱(XPS)表征了所制得的ZnO薄膜的特性.发现所有薄膜都沿C轴取向优先生长.在对ZnO薄膜气敏特性的测量中，在低温条件下掺杂ZnO薄膜的电阻比非掺......
    3. 《关于石墨烯与金属氧化物复合材料应用于气敏材料的研究》PDF+DOC 综述了最近报道的关于石墨烯与不同金属氧化物复合材料的主要制备方法，重点强调了石墨烯与金属氧化物复合材料应用于气敏传感器领域在响应提高，响应恢复速度提高，工作温度降低等方面所体现出的优势，并分析了关于气敏特性改善的可能因素，同时考虑了关于石墨烯与金属氧化物复合材料气敏响应可能的作用机理。同时也探讨了未......
    4. 《微结构气敏传感器敏感薄膜制备方法的研究》PDF+DOC 随着微结构气敏传感器的出现 ，金属氧化物半导体薄膜因具有灵敏度高、热质量小、批量制备一致性好等特点受到日益广泛的重视。本文比较了在微结构气敏传感器中三种方法制备的SnO2 敏感薄膜的结构和气敏响应特性。结果表明 ，用液涎生长和热氧化技术制备的SnO2 薄膜灵敏度高、稳定性好 ，但这种方法与lift ......
    5. 《WO_3基H_2S气体传感器的研究》PDF+DOC 介绍了电子束蒸发ＷＯ３膜和以该膜为敏感材料的Ｈ２Ｓ气体传感器工艺，分析了膜的灵敏度和膜的稳定性以及掺金和分步热处理对器件性能的影响...
    6. 《汽相沉积法SnO_2薄膜光谱透过率气敏特性的研究》PDF+DOC 本文研究了用汽相沉积法制备ＳｎＯ２气敏薄膜和ＳｎＯ２膜的光谱透过率气敏特性。用汽相沉积制备ＳｎＯ２的方法是利用一个密封的石英管系统，把ＳｎＣｌ４溶液置于系统内，氧气通人系统，然后系统升温使ＳｎＣｌ４气化，通过控制氧气流量、沉积温度和沉积时间等，使气化后的Ｓｎ原子与氧原子在一定条件下生成ＳｎＯ２，沉积......
    7. 《γ-Fe_2O_3烧结感应体的气敏特性》PDF+DOC 本文介绍γ-Fe_2O_3气敏感应体气敏特性的研究结果。研究表明， 烧结型γ-Fe_2O_3气敏感应体对丙烷等气体具有较高的灵敏度以及较好的选择性，具有良好的湿度特性。它的失效机理主要在于一定温度下转变为无气敏性的α-Fe-2O_3。选择适当的添加剂及工艺处理可以推迟这种转变的发生。...
    8. 《V_2O_5薄膜在传感器上的研究进展》PDF+DOC V2O5薄膜具有优异的物理、化学性质，在化工催化、电子、电化学等许多领域有广泛的应用，由于V2O5薄膜对还原性气体和湿度具有良好的敏感特性，其在气体和湿度传感器上的研究也日渐广泛，因此本文综述了V2O5为基体的薄膜在气体传感器和湿度传感器上的研究进展及存在的问题和解决的思路。...
    9. 《碳纳米管气敏传感器微电极的制备与检测》PDF+DOC 基于参数优化设计了一种电场分布合理的叉指微电极结构，利用光刻技术在ITO表面成功制备了最小指间距约为4μm的叉指微电极，为微电极制备提供了一种可靠、低成本的制备方法。将这种微电极用于碳纳米管气敏传感器中，并利用氨气对其气敏特性进行测试，结果表明，纳米材料修饰的微电极气敏传感性能得到了明显提高。...
    10. 《羟基修饰单壁碳纳米管对SF_6局部放电分解组分气敏特性的研究》PDF+DOC 为了从混合气体组分中检测出气体绝缘组合电器(GIS)中的SF6气体在局部放电作用下分解产生的特征气体组分，将纳米气敏传感技术用于SF6分解特征组分的检测。在分析现有的SF6分解气体特征组分检测方法不足的基础上，研制了羟基修饰的单壁碳纳米管(SWNT-OH)气敏传感器，并对SOF2、SO2F2、SO2......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。