作者:柴旭朝,顾晓峰,戴欢,苏小波,于宗光 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2010年第08期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2010080130 DOC编号:DOCCGJS2010080139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片》PDF+DOC2010年第01期 尹韬,杨海钢,张翀,吴其松,焦继伟,宓斌玮 《微电容超声传感器的设计与测试》PDF+DOC2015年第08期 穆林枫,张文栋,何常德,张睿,宋金龙,薛晨阳 《电容式测压微型传感器》PDF+DOC2000年第01期 许金海,冯勇建,卓勇 《一种高分辨率接触式电容测微装置》PDF+DOC1987年第02期 庄永芳,冯伟明 《电容式加速度微传感器》PDF+DOC2004年第03期 郑志霞,冯勇建 《一种适用于MEMS陀螺仪的高性能电容读出电路》PDF+DOC2010年第04期 吴其松,杨海钢,张翀,尹韬 《一种低噪声低失调电容读出电路》PDF+DOC2009年第06期 吴其松,杨海钢,张翀,尹韬 《MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究》PDF+DOC2007年第04期 尹韬,杨海钢 《一种适用于微传感器读出电路的低噪声、低失调斩波放大器》PDF+DOC2007年第05期 尹韬,杨海钢,刘珂 《硅微电容式加速度传感器结构设计》PDF+DOC1999年第04期 吴英,江永清,温志渝,胡松
  • 结合斩波稳定技术,通过电容匹配和多级优化的方法分别对用于MEMS微传感器的微电容读出电路的噪声性能和功耗进行了优化。基于优化分析采用两级斩波稳定电路结构,在CSMC 0.5μm CMOS工艺下,用Cadence Spectre进行了仿真验证。结果表明能精确检测出aF(10-18F)量级的微电容,输出电压变化量与电容变化量呈线性关系,并且输出失调电压仅为38.9μV,等效输入噪声电压为17 nV/Hz1/2。在5 V电源电压下功耗仅为2.5 mW,输出延时为6.29μs。

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