《电容式加速度计单芯片开环检测电路的研制》PDF+DOC
作者:王岳生,徐世六,刘伦才,黄文刚
单位:南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所)
出版:《固体电子学研究与进展》2010年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGTDZ2010040270
DOC编号:DOCGTDZ2010040279
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针对MEMS电容式加速度传感器,成功地研制出了一种单芯片集成检测电路。与国内常用的闭环结构不同,本电路采用的是开环检测电路。当电源电压为5V时,测得系统功耗为9 mW,灵敏度为15.8mV/g,线性误差为1.8%,噪声电压的峰峰值小于200μV(12.6 mg),测量范围为+/-100g。
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