作者：吴其松,杨海钢,张翀,尹韬 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2010年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2010040360 DOC编号：DOCYQXB2010040369 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对音叉式体硅MEMS陀螺仪传感器，提出了一种新颖的电容读出电路结构，该结构对共模电压漂移不敏感，能消除电容不匹配引入的误差。相关双采样(CDS)技术有效降低了电路的低频噪声和电压失调的影响。采用了一种简化的微陀螺传感器仿真模型，用于读出电路与微传感器的联合仿真。读出电路在0.35μm2P4M标准CMOS工艺下设计流片，芯片面积为2.5mm&#215；2.5mm，5V电源电压，电路工作在500kHz的时钟频率下，实现了1.5aF/Hz1/2的电容分辨率和大于100dB的动态范围。

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