《厚膜混合集成电容式加速度计》PDF+DOC
作者:李燕,王玲,唐豫桂
单位:中国计算机用户协会自动控制分会;中国计算机用户协会山西分会
出版:《微计算机信息》2010年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFWJSJ2010040450
DOC编号:DOCWJSJ2010040459
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设计了电容式加速度计的信号检测电路,与电容式加速度计敏感单元进行联调和测试,并进行了标定。为减小体积,提高电容式加速度计的检测精度,采用厚膜混合集成工艺,将检测电路和电容式加速度计敏感单元集成于一体,并进行了电路测试和性能测试。测试数据表明,其测试精度提高了一个数量级,线性度和温度特性均有很大的改善。
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