作者：刘民杰,池保勇,刘云峰,董景新,赵长德 单位：清华大学 出版：《清华大学学报(自然科学版)》2010年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQHXB2010110130 DOC编号：DOCQHXB2010110139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了实现了电容式传感器和其他信号处理电路之间的接口，提出了一种电容式传感器接口电路。该接口电路基于开关电容技术，采用采样电荷结构，并在其前端读出电路采用采样开关噪声消除技术，在0.35μm 2P-4 M CMOS标准工艺下设计并流片实现，且特别适用于开环或力平衡闭环电容式微加速度计和振动角速度陀螺仪应用。测试结果表明：在1 MHz的采样时钟下，该接口电路取得了约5.35 aF的电容分辨率和约0.173 aF.Hz-1/2的噪声基底。

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