作者：张茹,胡季帆,韩周祥,赵玛,吴占雷,魏剑英 单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所 出版：《真空》2010年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKZK2010050160 DOC编号：DOCZKZK2010050169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高性能金属氧化物基气敏材料研究及应用》PDF+DOC2016年第03期 侯雪梅,赵学伟,段里仁 《金属氧化物气敏传感器》PDF+DOC2007年第05期 刘湘军,谭湘倩,浣石 《关于石墨烯与金属氧化物复合材料应用于气敏材料的研究》PDF+DOC2016年第10期 冯秋霞,王兢,李晓干 《金属氧化物气敏传感器的研究现状及其发展趋势》PDF+DOC1998年第06期 章天金,周东祥,付明,龚树萍,姜胜林 《H_2S气敏材料研究进展》PDF+DOC2006年第01期 娄向东,刘淑萍,师东阳,席国喜 《Pd/SnO_2/SiO_2/Si集成薄膜的结构与气敏性能》PDF+DOC2006年第05期 王磊,杜军,毛昌辉,杨志民,熊玉华 《铁氧化物薄膜气敏材料的制备及性能研究评述》PDF+DOC2002年第03期 金鑫,姜继森 《多层膜气体传感器研制与特性试验》PDF+DOC2009年第07期 王昌龙,竺志大 《多孔硅气体传感器的制备及其气敏性能的研究》PDF+DOC2009年第04期 李东海,胡明,孙凤云,陈鹏,孙鹏 《聚吡咯在气体传感器中的应用》PDF+DOC2007年第01期 董先明,张淑婷,罗颖,陈开平

    • 气体传感器的应用越来越广泛，对气敏材料的研究也越来越深入。磁控溅射法是生产气敏薄膜的一种主要方法，本文重点介绍了用磁控溅射法制备的几种金属氧化物薄膜(SnO2、WO3、ZnO、TiO2、In2O3和NiO等)的气敏性能及其研究进展，对其它薄膜做了简要概述，并提出了目前在气敏薄膜研究中存在的问题。

    📙 相关资料

    1. 《高性能金属氧化物基气敏材料研究及应用》PDF+DOC 金属氧化物基气敏材料是新型气体传感器的核心组成部分，近年来发展迅速。围绕金属氧化物基气敏材料的作用机理、特征参数、性能强化及工业应用进行了阐述和展望。重点分析了金属掺杂、结构薄膜化以及多元复合技术在强化金属氧化物基气敏材料性能方面的研究。在此基础上，对今后的研究方向和趋势作了展望。...
    2. 《金属氧化物气敏传感器》PDF+DOC 根据检测气体的种类、组成成分和工作原理对气体传感器进行了分类，并详细介绍了金属氧化物的气敏机理和纳米技术对材料气敏性能的影响；着重从物理方法和化学方法两个方面介绍金属氧化物纳米颗粒的合成；探讨了气体传感器的发展方向。...
    3. 《关于石墨烯与金属氧化物复合材料应用于气敏材料的研究》PDF+DOC 综述了最近报道的关于石墨烯与不同金属氧化物复合材料的主要制备方法，重点强调了石墨烯与金属氧化物复合材料应用于气敏传感器领域在响应提高，响应恢复速度提高，工作温度降低等方面所体现出的优势，并分析了关于气敏特性改善的可能因素，同时考虑了关于石墨烯与金属氧化物复合材料气敏响应可能的作用机理。同时也探讨了未......
    4. 《金属氧化物气敏传感器的研究现状及其发展趋势》PDF+DOC 综述了国内外金属氧化物气敏传感器的生产和应用概况，分析了国内外目前的生产技术水平与现状，展望了金属氧化物气敏传感器的发展前景。...
    5. 《H_2S气敏材料研究进展》PDF+DOC 介绍了SnO2系、ZnO系、ZnS系、WO3系及复合氧化物半导体型H2S气敏材料的国内外研究现状；阐述了掺杂及制备方法对提高气敏材料的灵敏度、选择性以及降低工作温度和缩短响应-恢复时间等方面的影响；提出了气体传感器的发展方向。...
    6. 《Pd/SnO_2/SiO_2/Si集成薄膜的结构与气敏性能》PDF+DOC 采用磁控溅射技术制备Pd/SnO2/SiO2/Si集成薄膜.研究退火处理对薄膜微观结构和表面形貌的影响，进而测试了相关的气敏性能.实验证明，经过氧化性退火处理，集成薄膜中的SiO2层厚度从3nm增长到50nm左右，形成Pd/SnO2/SiO2/Si结构，SnO2薄膜形成金红石结构的多孔柱状晶.气敏测......
    7. 《铁氧化物薄膜气敏材料的制备及性能研究评述》PDF+DOC 本文综合介绍近年来在铁氧化物薄膜气敏材料制备方法、性能方面的研究新进展 ，探讨了各种方法的特点。提出了今后铁氧化物气敏传感器的研究及改进方向...
    8. 《多层膜气体传感器研制与特性试验》PDF+DOC 针对粉末烧结型SnO_2基气体传感器功耗大、交叉敏感、工作温度高的问题，研制了多层复合薄膜型气体传感器，以抛光的耐热石英玻璃为基片，真空磁控溅射50～70nm厚度的SnO_2薄膜，在SnO_2薄膜上分别溅射不连续的ZnO、Al_2O_3、InO等薄膜，传感器背面溅射30μm的Ni_(80)Cr_(2......
    9. 《多孔硅气体传感器的制备及其气敏性能的研究》PDF+DOC 以P+型硅片为基底，利用双槽电化学腐蚀方法制备不同孔隙率的多孔硅(Porous Silicon)，介绍多孔硅气体传感器的原理和优点，通过SEM和AFM对PS薄膜的表面形貌进行分析，研究不同孔隙率条件下PS薄膜的气敏灵敏特性。结果表明：随着孔隙率的增加，PS薄膜的响应/恢复时间不断减小，薄膜对空气中较......
    10. 《聚吡咯在气体传感器中的应用》PDF+DOC 利用聚吡咯(PPy)导电聚合物构建的气体传感器可检测常见的无机气体和可挥发性有机物(VOCs)。综述了PPy基气体传感器的制备、气敏机制及其在气体检测方面的应用。影响其气敏性能的重要因素包括掺杂(特别是质子酸掺杂)、复合或填充处理、制备工艺、被检测气体或蒸气的性质及外界条件等。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。