《色散条纹传感技术用于拼接镜面位移探测的仿真研究》PDF+DOC
作者:张勇,张靓
单位:中国科学院大学
出版:《中国科学院大学学报》2010年第04期
页数:9页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZKYB2010040060
DOC编号:DOCZKYB2010040069
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根据色散条纹传感技术的基本原理,从物理光学的角度对色散条纹传感器(DFS)进行了模拟研究,仿真出理论干涉图形,并从中采集能量信号,拟合光强分布曲线,得出测量结果.通过比较在不同波段的采样,提出在CCD上开出窗口采集有效信号的2种方法,借以提高检测精度.色散条纹传感器的检测范围为±;50μm,检测精度可以达到几十nm。
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