作者：张冬至,胡国清 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2010年第03期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2010030520 DOC编号：DOCYDSG2010030529 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机电系统技术进展》PDF+DOC2003年第05期 张西慧,梁春广 《微机电系统的研究与展望》PDF+DOC2005年第01期 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰 《微机电系统(MEMS)技术及发展趋势》PDF+DOC2004年第01期 王亚珍,朱文坚 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2003年第01期 朱健 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC1999年第01期 徐毓龙,徐玉成 《基于微光机电系统的微感知技术》PDF+DOC2010年第06期 陈丽洁,史鑫,栾剑,郇帅 《MEMS技术在流体控制中的应用》PDF+DOC2007年第01期 易亮,欧毅,陈大鹏,叶甜春 《微机电系统在计量领域的应用》PDF+DOC2014年第03期 王有忠 《微机电系统的研究与应用》PDF+DOC2014年第01期 肖顺

    • 微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域，集约了当今科学技术发展的许多尖端成果，在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔。该文介绍了微机电系统发展的背景与基础理论研究，综述了微机电系统所涉及的器件设计、制作材料、3大加工工艺(硅微机械加工、精密微机械加工与光刻、电铸和注塑(LIGA)技术)、微封装与测试等关键技术，总结了微机电系统在微纳传感器、微执行器、微机器人、微飞行器、微动力能源系统、微型生物芯片等方面的典型应用，最后指明了MEMS技术的发展趋势，有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化。

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