作者：崔继文,陈世丽,谭久彬 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2010年第05期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2010050090 DOC编号：DOCGXJM2010050099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了解决微内尺度的精密测量问题，提出了一种基于正交傅里叶-梅林矩(OFMM’s)定位的双光纤耦合瞄准触发式微内尺度测量方法。该方法通过耦合器实现光能量在不同光纤间的反向传输，把双光纤传感器测头的横向位移量转化为光束的偏转量，通过显微成像系统把此偏转量转化为CCD图像捕捉系统更大的横向位移量。为提高测量精度，运用OFMM’s的幅值旋转不变性和独特的图像形状细节特征的描述能力对CCD图像捕捉系统的图像信号进行亚像素定位；根据OFMM’s的实际位置进行补偿以提高输出图像边缘的定位精度，从而提高测量精度。对OFMM’s的定位精度及传感器性能进行了实验验证，并依据JJF(黑)8-2008，利用自行研制的微小孔径测量机实现了对直径为200μm、深2 000μm深盲孔的直径测量，其测量重复性不确定度优于0.25μm。

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