作者:谷永先,曾鸿江,邬林,胡娜娜,钱江蓉 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2016年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2016060210 DOC编号:DOCCGQJ2016060219 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计及标定》PDF+DOC2016年第08期 谷永先,邬林,曾鸿江,胡娜娜,钱江蓉 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计》PDF+DOC2020年第08期 徐洋 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计及标定》PDF+DOC2018年第02期 李晓琴,赵双双,牛海霞 《热式MEMS流量传感器的设计及测试》PDF+DOC2017年第04期 胡梦飞,杨露露,刘亚伟,谷永先,胡国俊,吕品 《微量程段的热式气体质量流量传感器研制》PDF+DOC2018年第07期 胡娜娜,刘莹,徐露,钱江蓉,胡国俊 《热式气体质量流量传感器研究与发展》PDF+DOC2005年第10期 孙承松,李瑞 《基于MEMS工艺的热膜式流量传感器芯片的研制》PDF+DOC2012年第05期 李艳杰,齐虹 《热式气体质量流量传感器的工作原理及其应用》PDF+DOC2017年第04期 苏乾益,王忆南,蕈蔓 《呼吸机流量传感器的原理和应用》PDF+DOC2010年第06期 王义辉,何金环 《MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置》PDF+DOC2014年第08期 高杨,代富,席仕伟,刘婷婷
  • 研制了一种热隔离式微机电系统(MEMS)气体质量流量传感器。加热电阻器和上下游测温电阻器采用热隔离悬梁式结构,间隔240μm。对恒温差电路的设计要点进行了分析并制作了系统电路。测试拟合了传感器输出电压随气体流量的关系曲线,并对传感器进行了标定。测试结果表明:在0~20 L/min的流量范围内,传感器响应速度快,灵敏度高,输出信号平滑,适合于工业及医疗等领域。

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