作者：王会强,郝晓剑,周汉昌 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2010年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2010040030 DOC编号：DOCCGSJ2010040039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在对PerkinElmer公司的MEMS热电堆红外探测器静态和动态特性实验研究的基础上，本文提出了由MEMS热电堆、红外衰减片、靶体和存储模块组成瞬态表面高温测试装置的方案，对拓宽测温上限的关键元件——红外陶瓷衰减片进行了较深入的研究，用MEMS热电堆测量方法测量了氧化锆陶瓷片红外吸收系数，得出了不同厚度氧化锆(熔点为2715℃)陶瓷片红外衰减倍数曲线，为基于MEMS热电堆的表面高温测试装置的设计提供了依据。

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