《新型MEMS地震检波器的研究》PDF+DOC
作者:谌贵辉,赵万明,任诚,席建中
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2010年第08期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2010080110
DOC编号:DOCCGQJ2010080119
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《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计》PDF+DOC2009年第10期 张建碧
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以MEMS加速度传感器为基础的新型地震检波器大幅度提高了地震检波器的各项性能指标。介绍了一种新型的石油勘探MEMS地震检波器的设计及其主要技术参数,并通过微传感器结构的力学性能仿真,得出其具体的结构尺寸。经采用表面工艺和体工艺相结合的方法,利用磁控溅射、光刻、化学蚀刻及等离子体蚀刻等工艺,在高阻硅上制备出检波器样品。
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