作者：杜晓强,吴柯锐 单位：上海仪器仪表研究所;上海市仪器仪表学会;中国仪器仪表学会汉字信息处理系统研究会 出版：《仪表技术》2010年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJI2010020170 DOC编号：DOCYBJI2010020179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 文章针对微机械(MEMS)器件中常用的微弱信号检测技术进行了简单的介绍。针对MEMS器件中微弱信号检测所使用的理论方法进行了总结分析，并提出了一些典型、实用的MEMS微弱信号检测电路。

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