作者：郑丹,徐爱国,董瑾,郭强 单位：上海应用技术大学;上海科学院;上海化工研究院 出版：《应用技术学报》2010年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSHSX2010040030 DOC编号：DOCSHSX2010040039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在单晶硅表面溅射铝，采用两步阳极氧化法制备纳米多孔铝膜。研究了电解液种类、阳极氧化时间、扩孔时间对孔的结构与形貌的影响。结果表明，与硫酸和磷酸相比，草酸是制备纳米孔阵列的相对方便与可靠的电解液；第二步阳极氧化时间对孔的均匀性及孔深度影响较大，对平均孔径的影响较小；扩孔时间的长短对孔径大小及孔的均匀性均影响显著。

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