作者：周红 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2010年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2010030060 DOC编号：DOCGNCQ2010030069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了能利用半导体材料ZnO对光谱曲线随温度变化而移动的原理设计一种光纤温度传感器，因此有必要对生长在光纤端面上的ZnO材料的温变特性的进行研究。基于ZnO材料的测温原理，利用电子束蒸发技术在蓝宝石光纤端面上生长ZnO薄膜，并设计了一种具有低插入损耗的光纤检测系统用于光学性能的分析。光谱测试结果显示，蒸镀在蓝宝石光纤端面上的ZnO薄膜具有陡峭的光学吸收边，随着温度的升高(室温～450℃)，ZnO薄膜的禁带宽度减小，吸收边向长波长方向移动，符合半导体材料的温变特性。同时随着温度的升高，平均的透射率有一定的减小。ZnO薄膜温变特性的研究，将为进一步研制以ZnO镀膜为敏感材料的新型光纤温度传感器打下良好的基础。

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